近期，嘉興科民電子創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)，微電子所微電子設(shè)備技術(shù)研究室主任夏洋、微電子所陳寶欽、解婧等申報(bào)的成果《集成電路科教設(shè)備研發(fā)和科教融合模式創(chuàng)新與實(shí)踐》獲評(píng)“2016年中國(guó)科學(xué)院教育教學(xué)成果特等獎(jiǎng)”。這是本次特等獎(jiǎng)的唯一獲得者。

圖1. 科研、教學(xué)用雙腔室PEALD設(shè)備

　　中國(guó)科學(xué)院教育教學(xué)成果獎(jiǎng)是由中國(guó)科學(xué)院前沿科學(xué)與教育局組織，經(jīng)中國(guó)科學(xué)院大學(xué)初選推薦、專(zhuān)家評(píng)審委員會(huì)評(píng)審、中國(guó)科學(xué)院院長(zhǎng)辦公會(huì)審核批準(zhǔn)的院級(jí)教育教學(xué)成果最高獎(jiǎng)，每4年評(píng)選1次。申請(qǐng)?jiān)摢?jiǎng)項(xiàng)的成果應(yīng)經(jīng)過(guò)2年以上實(shí)踐檢驗(yàn)并取得成效，這意味著科民電子原子層沉積機(jī)在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先水平。

圖2. 某款定制化科研用ALD設(shè)備

　　科民電子董事長(zhǎng)夏洋等開(kāi)發(fā)了國(guó)際上首套集成電路科教融合設(shè)備（以科民ALD系列原子層沉積機(jī)為基礎(chǔ)），具有安全、可操作性強(qiáng)、低成本易維護(hù)、多視窗一體化設(shè)計(jì)等方便教學(xué)的特點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了從被動(dòng)“參觀實(shí)踐”到主動(dòng)“動(dòng)手實(shí)驗(yàn)”的教學(xué)模式新，并在長(zhǎng)三角等培訓(xùn)基地應(yīng)用示范，在全國(guó)產(chǎn)生了重大影響。

圖3. 學(xué)生在科民長(zhǎng)三角培訓(xùn)基地進(jìn)行動(dòng)手實(shí)驗(yàn)

　　科民電子始終秉持科技為民的宗旨，以客戶需求為導(dǎo)向。近年來(lái)，通過(guò)參與大院名校、科教融合等項(xiàng)目，推出了一系列的科研、教學(xué)用原子層沉積機(jī)，助力客戶科研、教學(xué)，與客戶共創(chuàng)佳績(jī)。