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國家自然科學基金杰出科學家浙江行 暨科學儀器類項目成果展

發(fā)布時間:

2019/12/05

2019年11月28日-30日，國家自然科學基金杰出科學家浙江行（暨科學儀器類項目成果展）年底總結會在嘉興成功召開。期間在夏洋的陪同下基金委高瑞平主任、呂達仁院士、戴瓊海院士出席參觀；其中長光所原副所長申德振、半導體所原副所長俞育德、電工所副所長韓立、北京大學教授張志勇、中山大學教授劉陽輝、復旦大學教授孫清清、浙江大學教授王宏濤等專家參加專題研討會。

國家自然科學基金杰出科學家浙江行

暨科學儀器類項目成果展

　　2019年11月28日-30日，國家自然科學基金杰出科學家浙江行（暨科學儀器類項目成果展）年底總結會在嘉興成功召開。期間在夏洋的陪同下基金委高瑞平主任、呂達仁院士、戴瓊海院士出席參觀；其中長光所原副所長申德振、半導體所原副所長俞育德、電工所副所長韓立、北京大學教授張志勇、中山大學教授劉陽輝、復旦大學教授孫清清、浙江大學教授王宏濤等專家參加專題研討會。

 

 

專家及項目組成員合影

　　一百多位專家及項目組成員于29號去往南湖之畔，參觀了國家自然科學基金成果展、及科民電子展出的雙腔ALD、等離子體ALD、集束薄膜沉積、光刻機等高端儀器設備，并產(chǎn)生了濃厚的興趣，達成了采購意向。

 

 

項目負責人夏洋為相關專家介紹設備研發(fā)亮點

 

 

科民雙腔ALD設備

 

 

科民等離子體ALD設備

 

 

科民集束薄膜沉積設備

 

 

科民集束薄膜沉積設備