應(yīng)用于集成電路科研和教學(xué)的高密度遠(yuǎn)程感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)，具有4吋，6吋，8吋三種型號(hào)
關(guān)鍵詞: 高密度等離子體刻蝕機(jī)
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