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集束型薄膜沉積系統(tǒng)

集束型薄膜沉積系統(tǒng)


    集束型薄膜沉積系統(tǒng)是專為集成電路先進(jìn)制造工藝開發(fā)的薄膜沉積系統(tǒng),標(biāo)配8英寸樣品托,可兼容12英寸??纱钶dALD、PECVD、PVD等工藝系統(tǒng),控制面板可分立或集成,系統(tǒng)可穿墻安裝。
    獲取詳細(xì)的系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格,請(qǐng)與我公司銷售部門聯(lián)系。

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